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無(wú)塵潔凈室(Clean Room),也被稱(chēng)為無(wú)塵室、潔凈室或無(wú)塵車(chē)間。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒(méi)有無(wú)塵潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面,無(wú)塵潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。
無(wú)塵潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設(shè)備,其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多,因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。無(wú)塵潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù),一直是潔凈室設(shè)計(jì)中受到關(guān)注的問(wèn)題,隨著潔凈室污染源的控制效果增加及末級(jí)過(guò)濾器效率的提高等,對(duì)有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提 出的推薦或參考值是否偏于保守,已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等問(wèn)題已在實(shí)踐中得到解決,隨著FFU的不斷改進(jìn),對(duì)是否采用 FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個(gè)熱點(diǎn):懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來(lái),受到關(guān)注。
無(wú)塵潔凈室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定,隨潔凈室用途等具體情況而異,它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過(guò)濾器效率還受其他因素影響,就工業(yè)潔凈室而言,影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是:
(1)室內(nèi)污染源:建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動(dòng)、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源,根據(jù)具體情況而異,變化很大;
(2)室內(nèi)氣流流型及分布:?jiǎn)蜗蛄饕缶鶆?、平等的流線(xiàn),但會(huì)受到工藝設(shè)備布置和位置變動(dòng)及人員活動(dòng)情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,避免死角及溫度分層。
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