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光學微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設計之密閉空間。
光學微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設施。近幾年來,由于技術之創(chuàng)新發(fā)展,對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上很重視的項目。
光學微電子凈化工程具有重大意義。
在光學領域,純凈的環(huán)境對于高精度光學元件的制造至關重要。微小的塵埃顆?;蛭廴疚锒伎赡苡绊懝鈱W性能,導致成像模糊、光線散射等問題。凈化工程通過嚴格的空氣過濾、溫濕度控制等手段,確保生產(chǎn)環(huán)境中幾乎無雜質(zhì),從而保障光學元件的質(zhì)量和精度。
在微電子行業(yè),芯片等微小電子元件的制造需要極高的潔凈度。即使是納米級的顆粒都可能造成電路短路或損壞。凈化工程營造的超凈環(huán)境能有效防止雜質(zhì)侵入,保證微電子器件的可靠性和穩(wěn)定性。同時,適宜的溫濕度和靜電控制也有助于提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率。